今天时间太赶了，他们两个女同志也不好背着人说小话。

　　下回，下回有空的话，她一定要跟王老板好好叨叨。这五年的酸甜苦辣呀，她也没几个人能说。

　　发动机响起，离合器松开，方向盘一转，车子一路开回了上海。

　　刚到地界呢，王潇就接到了张俊飞的电话，后者的声音颇为无奈：“老板，你现在在哪啊？我刚送人到机场，碰上了张博，他要找你呢？”

　　王潇都惊呆了。

　　上午打电话的时候，张博说他会马上过来，他以为这个马上怎么也得到明天啊。

　　结果人家真的前脚挂电话，后脚上飞机呀。

　　“你们现在在哪儿？”王潇赶紧报坐标，“我们刚从南山回来，你们在哪？我过去找你们吧。”

　　那头张博不知道对张俊飞说了什么，张俊飞又立刻回老板：“别了，我直接送张博去光刻机厂吧，他急着看光刻机。”

　　王潇能怎么办呢？她拦不住首席顾问的积极呀，所以车子只能调转方向。

　　她还打了个电话和江副主任打招呼，头回感觉碰上如此拼的老前辈，她也很无奈：“张博刚从台湾过来，我们要去厂里，就不跟你一路走了。”

　　车上的黄有伦听得是目瞪口呆，直到电话挂断了，他才发出感叹：“不愧是张博呀！难怪他做事效率这么高。听说他都是在飞机上睡觉，然后一下飞机立刻投入工作。”

　　江副主任笑而不语。

　　这难道不是基操吗？做事的人都应该这样啊，哪有时间慢慢磨蹭。今天拖明天，明天拖后天，等你真动手的时候，黄花菜都凉了。

　　张汝京博士显然不是一个愿意看到凉掉的黄花菜的人。

　　他风尘仆仆，手上还拎着旅行袋，就这么急吼吼地冲下车，东张西望：“浸润式光刻机在这里吗？”

　　王潇看着他热切的眼神，都有点害怕会辜负他的期待了，不得不强调：“这真的只是实验机，纯实验机。”

　　临时被薅过来的工程师也满脸无奈：“193纳米波长的干式原样机我们现在也做不出来呢。这个实验机只能工作一小段时间，很不稳定，一会就不行了。”

　　事实上，大家都觉得，能把这个实验机做出来，也是撞大运了，巧合中的巧合。

　　很有可能是因为这边庙里的香火比较灵验。

　　工程师又对着张汝京博士演示了一遍他们的实验机。

　　感谢各路神仙，估计今天是黄道吉日，实验室很给面子，连着演示了两遍居然都没撂挑子。

　　张博士的眼睛瞪得老大老大的，整个人都紧绷着，似乎喘气都不敢喘，生怕影响了光刻机的演示。

　　等到整场演示结束，他才缓缓地吐出一口气：“真做出来了。”

　　然后他又陷入了长久的沉默。

　　大家不敢打扰他，怕影响到他的思路。

　　时间一点一点往前爬，白噪音听的人昏昏欲睡，本来就困得要死的工程师，差点没站着就睡着了。

　　突然间，他听到了说话的声音，赶紧打起精神。

　　然而，张博士的说话对象并不是他，而是老板：“我们亲自飞一趟美国吧，跟林博士好好谈谈。”

　　这不是一封邮件，一个电话就能解决的问题，必须得面谈详谈，因为这会影响整个半导体发展的历史。

　　因为干式光刻机发展到今天，已经处于极限状态，改变光源波长，意味着除了镜头材质外，整个光刻系统都要跟着调整，还需要开发配套的光刻胶。

　　这个成本实在太大了。

　　如果浸润式光刻机能够成功的话，这些暂且就不用考虑，它可以直接沿用大量的原有干式光刻的技术基础。

　　这是一条弯道超车，有可能会成功，也有可能会血本无归的路。

　　可科技进步从来都是要冒险的呀。任何一个科学巨头都没办法保证，自己全力以赴的项目，肯定能够获得成功。

　　正是因为一代代科研人不计成本的付出，正是因为前面倒下了无数具尸体，所以科技才能进步到今天。

　　将来，也是如此。

　　张博士又重复了一遍：“我们去美国是跟林博士面谈，我们得表达最大的诚意。”

　　王潇一听到美国两个字，头皮都发麻了。

　　原因无他，怕死呗。

　　她坑过美国政府和美国总统呀，她做贼心虚呀，她怕自己跑到美国就被嘎了呀。

　　别说不可能，她的命还是挺金贵的，她要好好宝贝。

　　于是，王潇立刻露出了为难的神色：“我倒是想去，但是签证不知道什么时候才能办下来。”

　　美国对华夏人赴美的限制，从大使馆门前排着长龙就能可见一斑。

　　鉴于每年有这么多华夏人偷渡到美国，黑下来不走，张汝京也不能说美国政府这么做不对。

　　可让他等着王老板拿到签证，再跟他一块儿去美国找林博士，向来急性子的张汝京根本无法忍受。

　　半导体设备更新迭代的速度也遵循摩尔定律，大家都是飞奔着往前跑。

　　好不容易看到一点点优势的光了，如果就此错过了，张汝京感觉这辈子都没办法原谅自己。

　　他毫不犹豫地主动开了口：“那我去吧，我去把他带过来，让他亲眼看看我们的浸润式光刻机。”

　　王潇笑容满面：“实在不好意思，又要麻烦张博您奔波了。”

　　说句实在话，人家这位顾问是正儿八经一个人干了三个人，不，是四个人的活。

　　又要盯着萧州的芯片厂，又要管韩国的团队，还得去香港亲自看着芯片厂建设，他本人又是世大的总经理。

　　现在还得替他去游说技术高手。

　　王老板都觉得应该多给人家分2套别墅，人家要不要是一回事，他们的心意有没有表达出来是另一回事。

　　于是远在美国的林本坚博士，一大早刚吃过早饭，人还没进公司门呢，就被风尘仆仆的张汝京给拦住了：“Burn，我是Richard，之前咱们在年会上碰过面，不知道你还记不记得？”

　　“当然当然。”林博士个性温和，笑着跟他握手，“Richard，你今天有什么事吗？”

　　张汝京满脸严肃：“Burn，你必须跟我走，因为有件非常大的事，你必须得亲眼见证。它会影响你、我，乃至整个半导体从业人的命运。”

　　作者有话说：

　　[星星眼]早啊！礼拜一了，该上班的上班，该上学的上学[笑哭]

第512章 伟大的人无惧平台：你必须得帮我们

　　办公室里，林本坚听完了张汝京的叙述，露出了惊喜的笑容：“做出来了？太好了！恭喜她，恭喜他们。”

　　是的，是恭喜Miss王，是恭喜他们，而不是恭喜自己。

　　因为他从来都不认为自己是浸润光刻的开山鼻祖。

　　严格来讲，浸润光刻不是多新奇的概念。

　　1984年日立的员工就曾申请过在镜头和光刻胶间加入液体的相关专利。1985年，Perkin-Elmer更是申请了镜头浸入水中的专利。

　　而在1987年，当时就职于IBM的他在公开学术会议上，提出的是将这类技术应用于249纳米光刻焦深的方案。

　　是的，Miss王和她的团队自称是看了他的这篇论文，所以才对浸润光刻产生了兴趣，写邮件给他，希望能得到更多的指点。

　　但林博士更加相信，他的那篇文章最大的意义是起了一个科普的作用，相当于一个先入门的人给后来者做了点儿介绍而已。

　　所以现在听到后来者居上，既然已经做出了193纳米波长的浸润式光刻机的实验机，他除了为对方高兴之外，剩下的只有“果然，浸润光刻理论是能从纸面走向现实的”。

　　其余的，没有了，真的没有了。

　　张汝京正在一口饼干，一口苏打水。

　　他也是飞机上睡觉，下了飞机就干活的典范。

　　整整20几个小时，除了飞机上吃了一餐，他粒米未进，滴水未沾。先前赶路，情绪亢奋，还没什么感觉，现在真是饥肠辘辘。

　　得亏林博士是个善良的人，把自己的加班口粮贡献了出来。

　　所以张博士才能好不容易咽下饼干之后，好歹有体力说话了：“现在恭喜说的太早了，他们真的只是实验机，连干式193纳米波长的原型机都造不出来的实验机。所以，Burn，你必须得跟我走，你得帮他们。”

　　林本坚愣住了，下意识地反问了一句：“我帮他们？”

　　张汝京用力点头：“对！这是一项伟大的突破，它的价值丝毫不逊色于紫外线光刻。”

　　他之所以特地把紫外线光刻拿出来说，是因为在80年代后期，也就是差不多十来年前，蓝色巨人IBM乃至全球芯片界，一度卯足了劲儿搞X光光刻的研发。

　　当时就职于IBM华生研究中心的林本坚却提出了不同的看法，认为应该做紫外线光刻。

　　因为X光的光源难以解决，需要大型粒子加速器提供稳定光源，操作难度系数高，而且很快就会抵达天花板，清晰度没办法继续往上升。

　　相反的，做紫外线光刻，光源好说，操作简单，提升空间也大。

　　可他不管怎么向老板申请，甚至主动提出，只要X光项目组的1/10的经费，依然没能获得支持。

　　这也成为了他最终选择离开IBM的原因之一。

　　而时间过了十多年，光刻机的发展历程证明了，紫外线才是正确的选择，深紫外光刻机先后推出了248纳米、193纳米等波长的技术，适配了半导体规模化生产的需求。

　　现在行业又开始推进极紫外（EUV）光刻研发。

　　与此同时，曾经风光一时的X光光刻机已经迅速被边缘化。

　　张汝京眼睛闪闪发亮：“我敢打赌，十年，很可能只需要五年的时间，浸润式光刻机就会向紫外光打败X光一样，成为新的主流。Burn，你又要创造历史了！”

　　真是让人羡慕呀。

　　但是被热烈赞叹的人还处于一种懵的状态中，他努力消化着对方热情洋溢的言语，不得不以冷静客观的态度提醒自己的同行：“Richard，不是我不愿意参与到这项工作中去，而是我去了能做什么呢？你太高估我的能力了。事实上，除了帮忙找一些资料之外，我自认为没为他们做过什么。”

　　他摆事实讲道理，“镜头和光刻胶之间的液体选用去离子水，一开始就是Miss王自己选的，理由是芯片厂本来就用去离子水。后来因为去离子水会跟光刻胶产生反应，他们为了解决这个问题，确实给我写了邮件，我认为是水中的杂质太多的原因，应该把水中的颗粒、有机物、微生物全部都去除掉，改成超纯水。”

　　他实话实说，“这大概是我唯一为他们提出的有建设性的意见，而他们也采用了。除此之外，包括让超纯水持续流动的想法也是他们自己想的，理由是流水不腐，户枢不蠹，流动的水才可能洁净。”

　　这给他造成了不小的震撼，有一种万事万物的道理是贯通的感觉。

　　他得承认，他很愿意跟这个团队交流，他从邮件中感受到了他们火热的热情。这样的热情，是支撑所有事物发展的根本动力之所在。

　　可他不觉得自己具备非得加入这个团队不可得的理由，他并不觉得自己进去以后能够带去什么翻天覆地的变化。

　　张汝京吃惊不小。

　　他跑光刻机厂的行程匆匆忙忙，压根顾不上问任何细枝末节，自然不知道液体使用水以及使用流动的水的方案竟然是Miss王自己提出来的。

　　科学的进步是多么的奇妙啊，外行反而有的时候会产生一种诡异的直觉，然后神奇地推动了科技的进步。