第297章 走不了捷径：走捷径

　　王潇说干就干，当即开启招兵买马模式，联系远在武汉的郑老先生，准备挖人。

　　至于说她为什么明明早上还在武汉，偏偏不说；非得下午都飞上海了，还矫情兮兮地找人？

　　呃，她还真不是故意装啥凹啥人设。她现在又不是网红要吸流量了，实在犯不着。

　　她之所以如此，是因为在没亲眼看到下属们熬夜寻找到了，今天下午才传真过来的论文和资料之前，她自己也无法肯定浸润式光刻机的发展可能。

　　为什么？她不是早在科普文章里看过林博士的事迹吗？她甚至都知道193nm呢。

　　呃，她同样也在科普文章里看过武汉无线电三厂二十年造光刻机的辉煌历史，以及华夏是唯一长期保存氢·弹的国家啊。

　　呵呵，不看到林博士的论文，她绝对不动如山。

　　于是郑老先生刚睡完午觉，正要去图书馆翻阅最新的国际电子期刊——以现在他的收入水平，自己订阅的话，实在吃不消。

　　忽然间，市政府就来人了。

　　忽然间，他就上飞机了，而且是军机。（注①）

　　连在图书馆看到导师，上来帮他拿杂志的研究生，都一并给捎上了。

　　上了飞机的研究生才一脸懵逼地从导师跟人家的对话里，勉强知道了事情的大概。

　　有个大老板看中他导师了，邀请他去上海。

　　可怜的研究生慌得一塌糊涂，生怕导师真心动被挖走了，那他读研读到一半换导师，天晓得还能什么时候毕业。

　　夏天日头长，惶惶不安的研究生下午三点多才跟着导师上了飞机，等到飞机降落在上海的时候，他甚至欣赏到了黄浦江上的日落。

　　西天烧起橘红色的火烧云，将苏州河口的老闸桥铁架熔成了剪影。

　　王潇在江边等人，笑着向郑老先生伸出手：“实在对不住，郑老，还麻烦您跑这一趟。我这边有问题，只能向您请教。”

　　江风吹乱了郑教授的白发，他脾气极好地跟人握手，只开了句玩笑：“那今天光一顿夜宵恐怕不够，还得再加一顿晚饭。”

　　王潇笑着点头：“好！您老想吃什么，请点餐。”

　　郑教授举目远眺，看着黄浦江水滚滚，锈迹斑驳的拖轮搅碎夕阳的鳞片，柴油机突突声惊起成群江鸥，忽然间开了口：“黄鱼面，来了上海总要吃碗黄鱼面。”

　　王潇一拍手：“好！黄鱼面，我们在上海的张经理说这家的黄鱼面最地道。”

　　张俊飞从看到那沓子传真来的光刻机的资料开始，就危机丛生，严重怀疑资料是杨桃查到的。

　　那些洋文，他就没几个单词是认识的。

　　强烈的危机感让他浑身紧绷，一听老板cue到他的名字，赶紧上前保证：“这家黄鱼面出了名的地道，好多人赶老远开车过来吃。”

　　结果大家上了古香古色，跟《戏说乾隆》里皇帝下江南一样的游船，进了包厢，服务员拿着餐牌过来点餐时，研究生吭哧吭哧小心翼翼地问：“有阳春面吗？”

　　他看武侠小说里，大侠都爱要一碗阳春面，上海的阳春面又好出名。

　　难得来一趟，想尝尝。

　　服务员从善如流：“好的。”

　　结果等到光面端上桌，可怜的研究生简直不敢相信自己的眼睛：“这……这就是阳春面？”

　　服务员笑容满面，还说了句俏皮话：“对，阳春白雪。”

　　桌上的人都笑了起来，还是他导师拯救了他：“再来一盘白切鸡和糟卤拼盘。”

　　王潇笑着继续点菜：“再来个油爆虾和辣椒炒鸡蛋、响油鳝丝。”

　　她兴致勃勃地跟客人说话，“我觉得武汉和上海都挺有意思的，一说起武汉就是热干面，一说起上海就是黄鱼面阳春面，但是本地人的主食确有基本上都是大米饭。我到现在吃面条都要专门配菜，要不然我总觉得我干吃大米饭了。”

　　郑老笑了起来，示意上桌的黄鱼面，“那这不是大米饭，起码得是个蛋炒饭。”

　　桌上又是笑声一片。

　　看看这面汤雪白，面条里头又是黄鱼又是雪菜，不可谓不丰盛。

　　王潇笑着帮忙调整送上桌的小菜的位置，一碟子烤麸，一碟子凉拌黄瓜，一碟子盐水蚕豆，都是送的。

　　她接过话头，“那也不行，蛋炒饭我也得吃菜。”

　　面条一份份上桌，包厢窗子开着，江风将浓郁的鲜香味送到大家鼻腔里，引得人胃里的馋虫都蠢蠢欲动，一个个开始埋头呼呼干面。

　　别看王潇嘴上强调，吃面条要配菜。事实上真正意外鱼汤面在手，她就专心吃面条。

　　哎呦，这个汤确实熬到位了。没有油也没有加葱蒜，居然不腥，就一个字——鲜。汆熟的黄鱼，夹在筷子上都不散，入口就是嫩。鱼刺被全部拔干净了，吃在嘴里就是爽。

　　郑老先生认认真真地吃面，完了还不忘把汤都给喝完。

　　最后他才放下碗，慢条斯理地擦嘴巴：“你要问什么，拿出来看看吧。”

　　助理赶紧帮忙拿出了资料，王潇亲自送到他手上：“我记得之前您说，我们的光刻机研发方向有问题。我想请您看看，这个方向可以吗？”

　　郑老先生的英语口语水平一般般，但在其他方面，尤其是专业英语方面，他能吊打在场所有人，包括王潇从微电子所请的专家。

　　他一边翻看资料，一边询问：“你们不打算缩短波长？”

　　所谓的光刻，就是将芯片制造的关键步骤，通过电路图案转移到硅片上。

　　波长的意义在于，波长越短，分辨率越高，能制造更小的晶体管。

　　这些年，光刻技术进展也很快，一路从g-line(436nm)、i-line(365nm)，走到了KrF(248nm)，分辨率也一路上升。

　　只是目前卡在了130nm制程上，它需要更高的分辨率。传统汞灯（i-line，365nm）和KrF准分子激光（248nm）的分辨率怎么也达不到这个标准。

　　国际上比较知名的光刻机厂商，像日本的尼康、佳能还有荷兰的ASML等，都将目光投向了更短的193nm波长（ArF准分子激光）。

　　王潇摇头：“不，我们要做193nm的波长，不过不做干式的，直接做浸润式的。”

　　她解释了一句，“我们再追下去没意思，跟着人家屁股后面，越追越远，不如弯道超车。”

　　郑老先生意味深长道：“那这一枪打出去，可未必有鸟。”

　　跟着人家屁股后面搞研发，看上去好像有点上不了台面，但实际上这是效率最高，成功概率也最高的研究方式。

　　因为先行者替你把所有的雷都趟了一遍了，不用你把精力浪费在已经失败的道路上。

　　王潇也明白第一个吃螃蟹的人，往往不是行业巨佬。研发经费过高，对企业经营来说，风险也随之增高。

　　赌错了，就是万劫不复。

　　她点点头：“先打一枪试试看。”

　　郑老先生没有再劝她三思而后行，而是放下了手上的资料，分析她要面临的问题：“那你这就是两步走。”

　　他在桌上放了两片蚕豆壳，然后指着左边的蚕豆格示意：“首先是单纯的193nm的机器，要有稳定的193nm ArF准分子激光器，来解决了激光功率低、寿命短的问题。”

　　他又在左边放下了一片更小的蚕豆壳。

　　“你还得有高纯度的熔融石英透镜，要保证折射率在193nm波段的稳定性，来确保成像精度。光刻胶也得更新换代，灵敏度要提升，才能满足193nm曝光需求。”

　　他伸手点了点左边的三片蚕豆壳，“等到这一代的机器做出来以后——”

　　他将手转移到了右边，“后续才是193nm的浸润机。”

　　黄副市长听的真着急，因为哪怕他是门外汉，他也知道193nm的干式机，对国内目前的水平来讲，属于妥妥的可望不可即的高度。

　　所以他脱口而出：“不能在248nm的基础上直接做吗？”

　　郑老先生微微笑，未置可否，只问王潇：“那你们想好了用什么液体来做这个介质吗？”

　　“去离子水。”王潇已经想要捂脸了。

　　果不其然，郑老先生再度开启了慢条斯理模式：“理论角度上来讲，用去离子水做这个介质，折射后的波长应该会比193nm短。”

　　不等黄副市长精神振奋，他又剥开了一颗蚕豆，继续往桌上摆蚕豆壳，“这样，我们首先要解决第一个问题。”

　　“248nm光源需使用氟化钙（CaF）透镜，CaF与水接触时可能发生水解反应，导致透镜表面损伤，这样，我们需要额外设计防腐蚀涂层。”

　　众人先傻眼了，面面相觑。这好像简单问题复杂化了啊。

　　然而郑老先生还没结束他的连环击，再度放下一片蚕豆壳，“248nm光刻胶，聚对羟基苯乙烯，PHS，在浸润环境中，可能因水的渗透导致图案变形。这个问题，也要想办法解决。”

　　众人感觉眼前一黑接一黑，本来他们觉得复杂问题可以简单化的。

　　结果叫郑老这么一分析，反而简单问题复杂化了。

　　郑老先生慢慢嚼着蚕豆，然后咽下肚子，才意味深长道：“技术更新就是这样。技术也要找自己的时机，就好像到了温度花才会开，它还需要执行力。这二者缺一不可。否则，再伟大的技术，它也落不了地。”

　　餐桌上陷入了沉默，只江水拍击着船发出的声响，透过窗户，传进包厢。

　　一并而来的，只有江水的潮湿之气和浓郁的咸腥味。它们如同黄浦江伸出的舌头，像母兽一样，舔舐着每个人的焦灼。

　　岸上灯光点点，小孩子奔跑时大喊大叫的欢笑声，让包厢里的沉寂愈发郁郁。

　　最后还是郑老先生打破的沉默，他发出了一声叹息：“而且248nm的光刻机，我们也造不出来啊。”

　　“KrF准分子激光器，需高纯度氟化氪气体和精密放电技术，我们国内的工业体系根本就没有这个基础。”

　　“纳米级对准精度和稳定性，都需要超精密制造能力，我们同样也没有这个技术。”

　　他拿手绢擦自己的手，再一次叹息，“高数值孔径（NA）的投影物镜，德国蔡司要是能出口给我们的话，倒是不用我们再从头做起了。”

　　五月底的江风，像是把黄浦江深处的凉意都给卷出来了，热情过度地往人身上扑，扑的人心里拔凉拔凉。

　　郑老先生将手绢放回自己的口袋，声音在江风中微微发颤：“工业的累积就是这个样子，想走捷径，跳过任何一个环节，几乎都不可能。”

　　这一顿江上的晚饭，吃的痛快还是不痛快，实在太难评。

　　你要说不痛快吧，桌上的面和菜都光盘了，可见大家吃的都挺麻溜。

　　但你要说痛快吧，上船的时候大家还言笑晏晏，个个信心十足。

　　结果等到了下船，所有人都沉默寡言，空气里只有江水的拍击声，和船上的录音机发出的歌声：“浪奔，浪流，万里涛涛江水永不休……”

　　人的烦恼啊，就跟江水一样，好像永远不会有停下来的时候。

　　小孩子在江滩上放会发光的风筝——现在的玩具真是一天一新鲜，风筝缠上了树枝，他急得哭。

　　家里的大人一边骂，一边上树去给他捡风筝。

　　唉，他们也想被骂两句，只要能解决他们的问题就好。

　　沉默的人下了沉默的船，走上沉默的江滩，然后又进了沉默的轿车。

　　轿车发出的声响，也好象沉重不堪的叹息。

　　因为它的核心技术，国产仍然实现不了。